纳米晶TiO2半导体薄膜的制备和性能

摘要

以钛酸丁酯为前驱液,聚乙二醇2000为模板剂,采用溶胶-凝胶模板法在温和的条件下合成了纳米晶TiO2薄膜,并对其晶相、颗粒大小和表面形貌等进行了表征.结果表明,所制备的TiO2薄膜表面完整,无明显的裂纹,颗粒分布均匀,粒径和膜厚度保持在纳米级.电学性能测试表明,纳米晶TiO2薄膜在350℃具有p-型半导体特性,p-型TiO2半导体纳晶薄膜在新型气体传感器开发领域有着潜在的应用前景.