Fe掺杂对Ba0．5Sr0．5TiO3薄膜微观结构与电学性质的影响研究

摘要

笔者利用射频磁控溅镀法在Pt／SiO2／Si（100）基板上制备出Fe掺杂量分别为0、0．5％、1．0％、2．0％、3．0％及5．0％的Ba0．5Sr0．5TiO3薄膜，并讨论了Fe掺杂含量对其微观结构结与电学性质的影响。由XRD分析可知，Fe掺杂对Ba0．5Sr0．5TiO3薄膜的晶体结构并无较大的影响；从SEM结果则可得出，微量Fe掺杂时薄膜较为致密，且晶粒大小较一致。电性结果表明，掺Fe薄膜的相对介电常数和电容均呈现下降趋势，且Fe掺杂含量分别为0．5％、1．0％及2．0％时薄膜具有较小的漏电流密度。