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彭仕魁; 匡同春; 成晓玲; 白晓军;
广州市机电工业理化计量中心,广州,510252;
广东工业大学实验研究中心,广州,510090;
金刚石膜; 微结构; 成分; 力学性能; 表征;
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机译:MEMS和其他设备中常用的金刚石微结构的纳米金刚石膜的图案
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