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光信息存储与溅射靶材

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摘要

在光盘制造过程中,需要使用多种溅射靶材.本文简介溅射靶材的制造及主要应用情况.

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来源
《光盘技术》|2003年第6期|28-30|共3页
作者
文宏福; 吴立华;
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作者单位

深圳欧莱溅射靶材有限公司;

深圳欧莱溅射靶材有限公司;

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正文语种 chi
中图分类光学记录材料工业;
关键词
溅射; 靶材; 薄膜; 光盘;

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