碳化硅智能制造系统综述

摘要

国内高纯半绝缘碳化硅单晶未能实现工程化的原因,在于生产效率和产品的一致性较差,因此提出了建立碳化硅智能制造平台这一解决途径,以提高晶体生产效率和产品的一致性为目标,以数据监控等为基础,建立基于模型的仿真方法,采用生长过程仿真分析、制造过程监控和工艺参数自适应控制,来提高碳化硅单晶生长过程的智能化控制水平,进而推进高纯半绝缘碳化硅单晶片的产业化进程.