冷却水在半导体厂的节能利用

摘要

半导体制程对室内的恒温恒湿生产环境有极高的要求,这就使得空调加热系统要频繁地运行以应对室内温度的变化,加热能耗较大。而很多半导体厂由于生产工艺的需要,制冷机基本上一年四季都在运行,同时空调系统不得不通过冷却塔排掉大量的余热,如果能够将这部分热量用于空调系统的加热系统,那么可以节省大量的能耗。通过以某半导体厂房为例,根据日常运行纪录对空调电加热器耗电进行统计分析,提出冷却水余热利用方案并进行了理论计算,通过对计算结果和日常运行情况的比较,表明利用冷却水的余热来降低加热能耗是可行的。