硅基集成Mach-Zehnder干涉仪的制备与性能研究

摘要

硅基集成波导是光电子集成的一个重要平台,硅基集成Mach-Zehnder干涉仪是光滤波器、光开关、光调制器和波导传感器的一种重要形式。本文对硅基集成Mach-Zehnder干涉仪的设计、制备和性能测量进行了研究,通过仿真计算优化了波导耦合光栅的耦合效率,采用电子束直写技术和离子刻蚀技术实现了波导的高精度制备。测试结果显示器件的性能优良,端对端的传输损耗优于?10 dB,干涉仪的干涉输出对比度达到了32 dB,自由频谱范围为2.275 nm。