中微介质刻蚀机Primo AD-RIE荣获第十六届工博会金奖

摘要

2014第十六届中国国际工业博览会圆满闭幕。在本届工博会t，中微公司的介质刻蚀机Primo AD—RIE从上千家参展企业中脱颖而出，被授予工博会金奖。这是中微继去年MOCVD Prismo D-BLUE夺得工博会银奖第一名之后，再获殊荣，更上层楼。