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半导体厂净化空调空气分子污染监测与控制

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摘要

探讨空气中的化学分子对半导体或液晶产品的潜在影响,空气分子污染降低了产品良率.阐述空气中化学分子的种类及来源,并对如何处理与监控进行了分析,可为新建半导体厂提供案例参考.

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来源
《集成电路应用》 |2021年第10期|9-12|共4页
作者
唐旺; 邱丰炜;
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作者单位

株洲中车时代电气股份有限公司湖南 412001;

株洲中车时代电气股份有限公司湖南 412001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
半导体生产; 空气分子污染; 净化空调; 化学过滤网; 监控;

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