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集成电路制造工厂的冰水系统阀门维护

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基于某集成电路制造企业的厂务冰水系统阀门老化的案例,阐述运用全面质量管理理论(五要素分析法),分析影响阀门老化的因素及对应的预防措施.

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来源
《集成电路应用》 |2021年第9期|20-22|共3页
作者
白新明; 彭博; 郭静涛;
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作者单位

武汉新芯集成电路制造有限公司湖北 430223;

武汉新芯集成电路制造有限公司湖北 430223;

武汉新芯集成电路制造有限公司湖北 430223;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
集成电路制造; 失效分析; 厂务冰水;

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