溶液法制备氧化物薄膜晶体管的研究

摘要

随着高分辨率平板显示、大尺寸柔性电子器件以及传感器的快速发展,氧化物薄膜晶体管成为研究热点。总结和分析了溶液加工法制备的不同种类活性层材料金属氧化物薄膜晶体管的性能。