转向SMIF的关键意义在于可满足低成本高效率的晶片生产需求

摘要

cqvip:3月17日，在中国上海举行的2004年中国国际半导体设备与材料展览暨研讨会上，Asyst Technologies董事长兼首席执行官Stephen Schwartz将使中国的宏大计划—采用标准机械界面(SMIF)和自动化物料搬运系统(AMHS)技术创建高度自动化的200mm和300mm fab—闪亮登场。他说：“今年。