Soitec与ASM制造成功300mm直径应变绝缘硅晶圆

摘要

cqvip:Soitec SA公司日前宣布，已与ASM国际制造出300mm直径的应变绝缘硅(sSOI）晶圆。两家公司还宣布拓展双方的合作关系，进一步提升制造效率并开发sSOI产品．sSOI品圆应变值为1．5gigapascal(GPa)，晶圆同质度为±7％，创记录的应变对应的硅品格变形度为近1％。应变硅层厚度为200埃，