象差校正STEM开辟新远景

摘要

＜正＞ 自从20世纪30年代电子显微镜面世以来,受电子透镜象差限制的分辨率极限就一直阻碍着它的发展。与可见光显微镜相比,电子透镜大约差50倍。所以,大约一个世纪以前,当普通显微镜达到其分辨率极限——近可见光波长时,电子显微镜却没有任何进展。尽管采用的波长比光的波长小几个数量级,但仍不可能接近电子波长（～0.03）,电子波长比0.1-0.5nm 的平均原子直径小得多,所以亳不奇怪象差校正依然是电子显微镜的圣杯。因为电子束分辨率限制在大约50个波长内,因此在过去的二十年里只获得了原子分辨率。