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利用超高过滤面积的液体过滤器实现高流量和低压损的纳米级颗粒过滤

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使用孔径更小的颗粒过滤器会带来更大的液体压力损失,导致流量降低.300mm的制程需要液体有更高的流量.所以过滤技术必须有所提高.

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来源
《集成电路应用》|2006年第10期|43-46|共4页
作者
蔚健; Isamu Funahashi;
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