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纳米技术时代晶圆的设计与加工

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纳米技术开始从衬底阶段启动.衬底选择将使衬底设计与器件结构之间的界线不复存在.

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来源
《集成电路应用》 |2006年第5期|28-32|共5页
作者
Carlos Mazuré; André-Jacques Auberton-Hervé;
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