雾状缺陷每年花费10亿美元,仍被误解

摘要

在半导体行业有据可查的范围中，微污染是对产率影响最大的因素，它让业界每年耗费约10亿美元，但半导体fab对其仍然知之甚少。“尽管半导体产业是一个成熟的产业，但在理解微污染方面仍处于初级阶段，”Grenon Consulting Inc．的Brian J．Grenon指出。据Grenon介绍，雾状缺陷是可见或可印刷的晶体结构，从污染生长而来，已是困扰半导体业界长达十年以上的大问题。半导体制造商们至今还未能提出良好的解决方案。