沟槽肖特基二极管工艺研究

摘要

随着国家对新能源电子产品的大力扶持,各种节能型电子产品日益壮大,其中沟槽型肖特基二极管相比于平面型具有不可比拟的优势,最近备受青睐.结合六英寸生产线的工艺能力,通过设计沟槽,优化多晶回刻,引入ONO层间介质和控制Pt基势垒金属合金,创新地建立一套沟槽SBDT艺平台,生产出沟槽型肖特基二极管,其参数性能已经达到或超过业内同类产品水平.