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200 mm晶圆厂面临的设备危机分析

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摘要

200 mm需求的爆炸式发展让生产商开始疯狂搜寻可以在更古老的工艺节点使用的二手半导体生产制造设备.问题是二手设备也不够用,而且并非所有的新或扩展的200 mm晶圆厂都能够负担翻新或购买新设备的费用.未来几年,旧节点将在许多设备中发挥更大的作用.这一点基本上已经是普遍的共识了.

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来源
《集成电路应用》 |2017年第10期|61-64|共4页
作者
Ed Sperling; 电姬;
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作者单位

半导体工程专辑,美国加利福尼亚圣克拉;

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正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
集成电路制造; 晶圆厂; 设备;

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