射频等离子工艺设备中的自动阻抗匹配技术

摘要

介绍了射频阻抗匹配的基本原理和常见的匹配网络类型,以串并联电容组成的Γ型匹配网络为例,利用史密斯圆图,阐述了阻抗匹配的工作原理.介绍射频等离子技术在微电子工艺设备中的应用.给出了自动匹配网络的检测电路、电机驱动电路和控制电路,提出了优化自动阻抗匹配能力的方法.