硅微机械角速度传感器闭环驱动控制方法研究

摘要

在分析硅微机械角速度传感器稳定工作条件的基础上,探讨了微机械角速度传感器对驱动电路的控制要求,提出了一种新颖的驱动频率自动跟踪的控制方法,给出了驱动电路闭环控制框图,详细分析了驱动模态闭环控制逻辑.最后的开、闭环对比实验说明了本控制方案的有效性.