差分式电容谱仪研制

摘要

利用差分法方法，研制出了电容、电导测试系统并编制了系统操作软件。该系统具有测试精度高、自动化程度高的特点，能测量0．01pF的电容变化量，而且其操作过程均由计算机自动控制，简单易学；该系统另一特点是既可测量电容、电导相对值，也可测量电容、电导绝对值。测试结果表明系统的精度已达HP公司的电容谱仪水平。使用该系统既可研究半导体表面、界面，也可研究半导体同、异质结器件的工作性能及制备工艺。