MM602E型质谱仪电磁阀控制电路的代换

摘要

ＭＭ６０２Ｅ型质谱仪电磁阀控制电路的代换王正纲，徐志明，王岩军（新疆农科院测试中心乌鲁木齐８３００００）ＭＭ６０２型质谱仪中有两个电磁隔离间位于真空系统的咽喉通道上，它能在意外停电时，自动切断高真空部与低真空部的气体通道、防止初级机械泵油倒灌、造成高...