纳米分辨率的三维形貌检测仪

摘要

从光干涉方式，瞳窗关系和光源带宽等基本关系出发，利用空间不变系统理论解析了相移显微干涉检测系统中衍射效应的影响。为了减小横向分辨率对纵向分辨率的影响，利用相关信息提取或数字滤波的方法，获得了纳米分辨率的三维形貌。