半绝缘砷化镓单晶中AB微缺陷的定量测量方法

摘要

报道了非掺杂半绝缘砷化镓单晶中ＡＢ微缺陷显微特征的研究结果，提出了一种自动定量测量微缺陷的方法，并在ＷＤ－５图象处理分析系统中实现了该算法。