Pt/Ti双层电极应力的微观分析研究

摘要

常温下用直流溅射法在Si(100)上淀积Pt/Ti电极薄膜.采用X射线衍射、原子力显微镜检测不同退火温度的薄膜,结果表明,退火初期Pt层内首先产生了压应力,从而使Pt表面形成了小丘凸起;退火过程产生的热应力在Pt层残余应力的产生中占主导地位,这种热应力使得Pt层最后的应力状态为张应力状态并且随着Pt层中Pt2Ti金属间化合物数量的增多而增大.