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EB-PVD法制备微层材料的研究

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摘要

简要介绍了用于电子束物理气相沉积的设备及其发展,阐述了利用该技术制备微层材料的优点,同时对制备工艺和相应的材料性能作了详细的介绍,并指出使用电子束物理气相沉积技术制备微层材料具有广阅的发展前景.

著录项

来源
《宇航材料工艺》|2005年第6期|13-16|共4页
作者
李晓海; 陈贵清; 韩杰才; 孟松鹤;
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作者单位

哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨,150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类航空用材料;
关键词
电子束物理气相沉积; 微层材料; 直接气相沉积;
入库时间 2022-08-17 18:33:48

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