激光干涉位移测量系统的环境误差补偿

摘要

激光干涉仪在长度测量领域应用十分广泛,然而其测量精度直接受环境的影响,特别是空气折射率变化会引入标尺误差.通过对激光干涉位移测量原理及其误差源的研究分析,建立了环境误差补偿模型,消除了零点误差和空气折射率误差.设计了分别适用于环境条件好、小量程测量的双干涉自补偿系统和适用于复杂环境、大量程测量的多点测量综合修正的补偿系统,对环境误差进行修正.