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微细加工技术在有机电致发光器件中的应用

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有机电致发光器件是近年来出现的一种新型显示技术.为了实现高分辨率及改善器件的发光性能,多种传统的及新兴的微细加工技术已被应用到该技术中,而且针对该技术还发展了阴极隔离柱等新技术.总结了应用于有机电致发光器件的几种典型微细加工技术,并介绍了它们各自的特点及其在发光器件中的具体应用.

著录项

来源
《现代显示》 |2003年第5期|33-38|共6页
作者
刘陈; 邹雪城; 尹盛;
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作者单位

华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN383.1;
关键词
微细加工; 有机电致发光器件; 软刻蚀;

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