水溶液法制备图案化TiO_2薄膜

摘要

从硫酸钛Ti(SO_4)_2的水溶液出发,采用化学浴沉积和电沉积法来制备图案化TiO_2薄膜.通过硫酸和双氧水来稳定Ti~(4+),配制了pH=1.0的硫酸钛溶液和pH=1.6的过氧硫酸钛溶液.结合微接触印刷术在硅基底上制得自组装膜预图案,再化学浴沉积TiO_2即可得规则图纹.无机配体对钛溶液的稳定性和TiO_2的晶型均有影响,溶液的酸度关系到所得图案的质量.过氧硫酸钛溶液同样适用于电沉积,在导电玻璃基底上旋涂光刻胶后选择性曝光、显影,通过控制阴极电位可获得高差达200 nm的清晰图案.