射频溅射功率对FeZrBCu软磁合金薄膜巨磁阻抗效应的影响

摘要

用射频溅射法制备了FeZrBCu软磁合金薄膜.研究了不同溅射功率对FeZrBCu薄膜软磁特性和巨磁阻抗效应的影响.用电子探针显微镜测量发现,当溅射功率为240W时,薄膜样品中Fe的原子含量为87.32％,Cu的原子含量为2.9％.这种样品的矫顽力最小,为68 A/m,饱和磁化强度约为1.11×105A/m,软磁性能最佳,巨磁阻抗效应最大,溅态膜在13 MHz最大巨磁阻抗比纵向为17％,横向为11％.重点分析了阻抗的电阻、电感分量及横向有效磁导率随频率的变化,得到在低频下主要是磁电感效应,此时磁导率对电感分量的变化起重要作用.