上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室,"微米/纳米加工技术"国家级重点实验室,微纳科学技术研究院,上海,200030;
上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室,"微米/纳米加工技术"国家级重点实验室,微纳科学技术研究院,上海,200030;
上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室,"微米/纳米加工技术"国家级重点实验室,微纳科学技术研究院,上海,200030;
复旦大学专用集成电路和系统国家重点实验室,上海,200433;
复旦大学专用集成电路和系统国家重点实验室,上海,200433;
上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室,"微米/纳米加工技术"国家级重点实验室,微纳科学技术研究院,上海,200030;
复旦大学专用集成电路和系统国家重点实验室,上海,200433;
Silicon Storage Technology Inc.,Sunnyvale,CA94086,USA;