半导体问题的交替方向有限元方法

摘要

该文用交替方向有限元方法求解半导体问题的Energy Transport(ET)模型.对模型中椭圆型的电子位势方程采用交替方向迭代法,对流占优扩散的电子浓度和空穴浓度方程采用特征交替方向有限元方法,热传导方程利用Patch逼近采用交替方向有限元方法求解.利用微分方程的先验估计理论和技巧,分别得到了椭圆型方程和抛物型方程的最优H1和L2误差估计.