配体氮上取代基对二齿双氨基脒钴(Ⅱ)型ALD前驱体稳定性的影响

摘要

新型的二齿双氮基脒金属前驱体bis-amidinate在原子层气相沉积(ALD)中表现出了广阔的应用前景.前驱体适用性取决于其是否具备适当的稳定性,而bis-amidinate型前驱体的稳定性可由侧链取代基上β基团的迁移重排来表征.利用密度泛函理论方法研究了配体氮原子上不同取代基对bis-amidinate型Co前驱体稳定性的影响.结果表明,β-H的迁移较β-Me的迁移相对容易,而β基团在不同取代基前驱体中的迁移能力次序为:异丙基(β-H)>2-丁基(β-H)>叔丁基(β-CH3).