基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真

摘要

提出多端口组件网络方法对MEMS进行建模与仿真,建立了惯导MEMS典型功能结构部件的参数化多端口组件模型,联结组件模型形成网络构建了蟹腿式微加速度计的系统模型.用硬件描述语言作为编码工具,Saber作为平台对该微加速度计模型进行了仿真分析.研究表明,采用多端口组件网络可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响.与有限元分析相比较,微加速度计系统模型仿真得到的检测方向的固有频率误差小于1.0%;仿真结果表明梁的宽度变化对系统灵敏度有较大影响,故需要尽量减小梁宽的加工误差.借助该模型还研究了系统对正弦及脉冲输入信号的响应特性.