抗反射涂层和包含苯乙烯-烯丙醇共聚物双镶嵌填充组合物

摘要

<正>提供了具有改进的流动性能的新的抗反射或填充组合物。所述组合物包括苯乙烯-烯丙醇聚合物和优选的至少一种其它聚合物(例如纤维素聚合物)以及苯乙烯-烯丙醇聚合物。本发明的组合物可用于保护接触孔或通孔,从退化的双镶嵌工艺的蚀刻过程中。本发明的组合物也可应用于衬底(例如,硅晶片),以形成具有高蚀刻率的抗反射涂层,其在