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抗蚀剂组合物和图案化方法

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本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法。通过将抗蚀剂组合物涂布到基材上,烘焙,将该抗蚀剂膜曝光,PEB,和在有机溶剂显影剂中显影,从而形成图案。该抗蚀剂组合物包括(A)PPD抑制剂、(B)适于在酸的作用下改变其在有机溶剂中的溶解性的聚合物、(C)光致产酸剂、和(D)有机溶剂。该抗蚀剂组合

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《乙醛醋酸化工》|2018年第1期|P.51-51|共1页
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正文语种 CHI
中图分类感光材料产品、产品分析及鉴定;
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