超细SiC粉末的激光法制备及其性能研究

摘要

本文叙述了(CH_3)_3SiCl在激光场中分解后生成的S_1C超微粒的性质以及粉末性质随反应器压力、气体总流速、载气流速和激光平均能量等变化而改变的情况,对具有理想性能的SiC超微粒(直径≤0.03μm)的制备工艺条件选择有参考价值。