University of California Los Angeles;
机译:芯片上3D锂离子全固态微电池功能层的原子层沉积
机译:等离子增强原子层沉积生长的ZnO薄膜:“原子层沉积窗口”内外的材料特性
机译:ns脉冲激光沉积获得的锂离子微电池的铁掺杂LiCoPO_4薄膜
机译:等离子体增强铁和磷酸钛的原子层沉积作为3D结构锂离子微滴乳的电极材料
机译:利用阳极氧化铝纳米模板和原子层沉积之间的工艺协同作用:从薄膜到3D纳米电子设备。
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积在高纵横比结构中沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:基于SnO2的复合阳极的原子层沉积薄膜锂离子电池