University of Maryland College Park.;
Contact resistance; Force sensing; Inertial sensing; MEMS; Microelectromechanical systems; Microfabrication;
机译:SOI-DRIE MEMS中的电接触电阻力传感
机译:热开关模拟金属MEMS触点的电接触电阻衰减
机译:使用MetalMUMPs工艺制造的多触点MEMS继电器的电接触电阻的研究
机译:表面污染对热开关低力MEMS电触点电阻衰减的影响
机译:研究RF -MEMS开关中使用的接触电阻和金属触点的损坏。
机译:低力下MEMS和NEMS DC开关中接触电阻的不稳定性:外来膜在接触表面上的作用
机译:镀金碳纳米管表面作为mEms器件的低力电触点:第1部分
机译:用于贵金属电触头的700 Torr氦电接触电阻与磨损阶段的相关性