Nanostructures of Liquid Crystals and Semiconductor Device Fabrication

著录项

• 作者

  Visvanathan, Rayshan.;

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• 作者单位

  University of Colorado at Boulder.;

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• 授予单位 University of Colorado at Boulder.;
• 学科
• 学位 Ph.D.
• 年度 2018
• 页码 150 p.
• 总页数 150
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 AAI13424699;
• 关键词

  Atomic layer etching and deposition; Liquid crystals; Nanostructures; Semiconductor device fabrication; Semiconductor processing; Thin films;

  机译：原子层蚀刻和沉积;液晶;纳米结构;半导体器件制造;半导体加工;薄膜;