University of California San Diego.;
Atomic layer deposition; Germanium; In-situ cleaning,; Surface science;
机译:通过使用GeO _xN_y钝化层的锗基金属氧化物半导体器件的原子层沉积法生长的TiO_2 / HfO_2双层栅堆叠
机译:通过原子层沉积工艺中的原位低温处理提高锗p沟道金属氧化物半导体场效应晶体管的氧化锆介电质
机译:通过H_2O_2(g)和三甲基铝计量对SiGe(001)表面进行钝化,功能化和原子层沉积成核的原子成像和建模
机译:使用可逆表面功能化原位FTIR表征原子层沉积中的生长抑制
机译:使用家用原子层沉积系统通过氧化还原介体的功能化和光阳极的钝化提高染料敏化太阳能电池的效率
机译:通过原子层沉积在钛锗上外延生长钙钛矿锶钛酸盐
机译:采用GeOxNy钝化层的锗基金属氧化物半导体器件原子层沉积生长的TiO2 / HfO2双层栅堆叠