Optical Properties of Strssed Silicon Nitride Films and Their Impact on High Contrast Grating Performance

著录项

• 作者

  Lingaraju, Navin Bhartoor.;

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• 作者单位

  University of Maryland College Park.;

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• 授予单位 University of Maryland College Park.;
• 学科
• 学位 M.S.
• 年度 2017
• 页码 85 p.
• 总页数 85
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 AAI10272410;
• 关键词

  Birefringence; High contrast gratings; Optomechanics; Photonic crystal; Silicon nitride;

  机译：双折射;高对比度光栅;光学力学;光子晶体;氮化硅;