The University of Arizona;
机译:山梨酸钾作为铜化学机械平面化浆料中的抑制剂。第二部分:山梨酸酯对化学机械平面化性能的影响
机译:浆料流速对化学机械平坦化C面(0001)GaN表面材料去除率和地形的影响
机译:KIO_3浆料中铜化学机械平面化的电化学表征
机译:含氨型浆料中铜的电化学表征互连化学机械平面化
机译:氨和硝酸基浆料中块状和薄膜铜的电化学表征,用于互连的化学机械平面化
机译:化学机械平面化过程中浆料混合程度和可用性的浆料注入方案
机译:化学机械平面化过程中浆料流量,温度和侵蚀性金刚石的控制