University of Illinois at Urbana-Champaign;
机译:等离子刻蚀工艺中沟槽表面电位对离子角分布的依赖性
机译:在表面形貌上进行等离子成型:在RF高密度等离子中逐步模拟离子流,能量和角度分布
机译:碳氟等离子体在硅衬底上刻蚀SiO_2的过程中等离子体引起的损伤分布的建模与仿真
机译:基于真空表面闪络的脉冲等离子体的能量分布和角度分布
机译:等离子体蚀刻中离子能量分布函数和蚀刻轮廓的建模和仿真
机译:心脏的分子系统生物能:代谢室和能量通量与计算机建模的实验研究
机译:在表面形貌上的等离子体成型:在射频高密度等离子体中的步骤中模拟离子流,能量和角分布