Northwestern University;
机译:通过不平衡磁控溅射法沉积的氧化铋薄膜的特征。
机译:通过不平衡磁控溅射制备的BI(X)SI(Y)O(Z)薄膜的结构和形态学特性磁控溅射平衡)
机译:添加到氩氮溅射气体中的氢含量和衬底偏置电压的参数空间,以通过不平衡磁控溅射法形成立方氮化硼薄膜
机译:溅射电流对(Ti_(1-x)Cr_x)N薄膜的结构和形貌的影响,反应性不平衡磁控掺杂沉积
机译:在高温“智能”摩擦应用中,在封闭场不平衡磁控溅射中反应性沉积的氮化铝压电薄膜。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:溅射电流对反应性不平衡磁控共溅射沉积(Ti1-xCrx)N薄膜结构和形貌的影响