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Investigation of Chlorinated Silicon Nanoparticles and in Situ Analysis of the Size Distribution of Plasma Produced Particles

机译：氯化硅纳米颗粒的研究及等离子体产生颗粒尺寸分布的原位分析

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作者
Johnson, Jasmine Nalani.;
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作者单位

University of Minnesota.;

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授予单位 University of Minnesota.;
学科
学位 M.S.
年度 2017
页码 47 p.
总页数 47
原文格式 PDF
正文语种 eng
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