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机译:使用光流的图像清晰度歧管的新度量
Nagaraj, Sriram;
Rice University;
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机译:用于光学成像装置即微光刻装置的光学模块具有形成的保持装置和/或与光学单元接触,使得基于最小溢出量,溢出的溢出率等于特定值。
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