University of Puerto Rico Mayaguez (Puerto Rico);
机译:薄膜体声波谐振器反应磁控溅射氮化铝薄膜的沉积与表征
机译:基于金刚石在氮化铝薄膜上的生长的压电致动微谐振器
机译:基于极性c轴倾斜的氧化锌和氮化铝薄膜的薄膜体声谐振器传感器的质量敏感性
机译:薄膜体声波谐振器中AlN薄膜的纳米机械和压电特性的表征
机译:用于MEMS谐振器的氮化铝薄膜:生长和表征。
机译:基于图案化氮化铝薄膜的高密度压电微加工超声换能器阵列的研制
机译:基于氮化铝薄膜的压电纳米机电谐振器