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机译:用于芯片实验室的静电驱动微型泵的设计,仿真和制造
Xu, Junling;
The University of New Mexico;
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机译:静电驱动气体微型泵的分析,设计和实验特性。
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机译:PZT减压阀微型泵的设计与制造(II)
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机译:带有加热可调性设计,模拟,制造和性能分析的芯片上的所有光学快速傅立叶变换
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